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陶瓷真空吸盘 | 半导体设备静电卡盘
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陶瓷真空吸盘
主要特点

陶瓷真空吸盘主要由微孔陶瓷和框架组成,也可以称为多孔陶瓷卡盘:

  • 陶瓷真空吸盘: 主要用于减薄、划片、印刷、晶圆检测、LED等领域,具有平面度、平行度高、组织致密均匀、强度高、不掉渣、透气性好、吸附力均匀等特点

Main Appliction

应用场景

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应用领域

  1. 屏幕印刷、造纸行业、涂漆检查、像素检测
  2. 键合机,划片机,贴片机,抛光机
  3. 金属加工;机械加工;激光加工
  4. 成型;磨削;切割;树脂密封;

Structure

结构

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产品特点

CHARACTERISTIC

  • 具有平面度、平行度高、组织致密均匀、强度高、透气性好、吸附力均匀等特点。
  • 透气均匀性:10*10mm区域内压差±3Kpa(可调配)。

Material Parameters

材料参数

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项目ltem  

尺寸 Size

4 inches

6 inches

8 inches

12 inches

平整度 Flatness

3 μm

3 μm

5 μm

5 μm or 10 μm

多孔陶瓷颜色 Color of Porous Ceramics

White, black, brown白、黑、棕

多孔陶瓷材料 Material of Porous Ceramics

Aluminum oxide and silicon carbide氧化铝、碳化硅

多孔陶瓷孔径 Pore Size of Porous Ceramics

5-100 μm

孔隙率 Porosity of Porous Ceramics

30%-45%

底座材料 Base Material

Stainless steel, aluminum alloy, ceramic不锈钢、铝合金、陶瓷

体积电阻率 Volume Resistivity

4.5*107-9 Ω.cm

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